| 发明名称 |
Generating electrolyzed water for treating semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2287719(A) |
申请公布日期 |
1995.09.27 |
| 申请号 |
GB19950006211 |
申请日期 |
1995.03.27 |
| 申请人 |
* NEC CORPORATION |
发明人 |
HIROSHI * KITAJIMA;HIDEMITSU * AOKI |
| 分类号 |
C02F1/46;B08B3/08;C02F1/04;C02F1/461;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C02F1/46;C25B1/10;C25B9/00 |
主分类号 |
C02F1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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