发明名称 PRODUCTION OF SOI BOARD
摘要
申请公布号 JPH07249749(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940040964 申请日期 1994.03.11
申请人 CANON INC 发明人 YAMAGATA KENJI;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
地址