双线圈高速脉冲气阀

摘要

本发明是一种双线圈高速脉冲气阀。主要用于产生宽度窄(200μs左右，FWHM)、强度高(10²²分子/秒·球面度)的脉冲分子束。主要构成是在带有前后盖板、顶板和接线座的阀体内，装有安装筒，安装筒内有上磁芯、下磁芯、可移动部件、气隙、弹簧和压杆。它最高可工作气压在6个大气压以上，阀门快速闭合时没有振荡，不需通水冷却，可在每秒10次的频率下连续工作。

主权项

1、一种双线圈高速脉冲气阀，其中包括阀体(7)，在阀体(7)的下端是中心带有喷气口(21)的前盖板(19)，在阀体(7)下端的侧面有进气口(1)，阀体(7)的顶端是顶板(11)，顶板(11)的下面有置于后盖板(8)之上的接线座(10)，后盖板(8)与接线座(10)之间有银圈密封环(9)，后盖板(8)与阀体(7)之间有密封橡皮圈(12)，前盖板(19)与阀体(7)之间有密封橡皮圈(23)，在阀体内由安装筒紧固环(13)固定的带内凸缘的安装筒(5)内装有由磁芯紧固环(14)、(17)固定的绕有开阀线圈(15)的上磁芯(6)和绕有闭阀线圈(16)的下磁芯(2)，在上磁芯(6)和下磁芯(2)之间有可移动部件(3)和气隙(4)，其特征在于可移动部件(3)的中心孔内有弹簧(20)，弹簧(20)的顶端有压杆(18)，压杆(18)与磁芯紧固环(14)的中心孔有螺纹连接，可移动部件(3)的顶部压在置于前盖板(19)中心喷气口(21)周围的O形橡皮圈(22)上，进气口(1)靠近O形橡皮圈(22)。