| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07245466(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940032448 |
申请日期 |
1994.03.02 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
OKUNO EIJI;FUKUCHI TAKESHI;KISE KAZUO |
| 分类号 |
H05K3/06;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
H05K3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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