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发明名称 METHOD FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH07245280(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940075254 申请日期 1994.03.07
申请人 SHINSEI KOSAN KK 发明人 EDAMATSU YOSHIKAZU
分类号 B24B1/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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