发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07240299(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940028676 申请日期 1994.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SENDA KENICHI;KIMURA MASAYUKI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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