| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07240379(A) |
申请公布日期 |
1995.09.12 |
| 申请号 |
JP19940030608 |
申请日期 |
1994.02.28 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HIRAMATSU KENJI;ONISHI HIROSHI;TAKAHAMA TORU |
| 分类号 |
C23C16/08;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
