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发明名称 METHOD FOR MEASURING CARRIER LIFE
摘要
申请公布号 JPH07240450(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940030660 申请日期 1994.02.28
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 NAKANO HIROSHI;TAKAYAMA MASAAKI
分类号 G01N22/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N22/00
代理机构 代理人
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