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发明名称 BONDING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07240442(A) 申请公布日期 1995.09.12
申请号 JP19940032280 申请日期 1994.03.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUNAGA AKIFUMI;MARUYAMA YOSHIAKI
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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