发明名称 LENS ARRAY PHOTOLITHOGRAPHY.
摘要
申请公布号 EP0670052(A1) 申请公布日期 1995.09.06
申请号 EP19940906428 申请日期 1993.11.15
申请人 HUGLE LITHOGRAPHY INC.;PAGE JOSEPH 发明人 HUGLE, WILLIAM BELL;DANDLIKER, RENE;HERZIG, HANS PETER;BROOK, JOHN;PAGE, JOSEPH
分类号 G02B3/00;G02B5/18;G03B27/50;G03F7/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/44 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
主权项
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