发明名称 LSI CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07235600(A) 申请公布日期 1995.09.05
申请号 JP19940047799 申请日期 1994.02.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKEI YUICHIRO;MATSUDA HIROO;ADACHI TORU;KASAI RYOTA
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
地址