| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07235522(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940026860 |
申请日期 |
1994.02.24 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MATSUZAKI NOBUKI;SAITO MAKOTO |
| 分类号 |
F26B11/08;H01L21/304;H01L21/306;H01L23/15;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
F26B11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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