发明名称 PROCEDE POUR LA SUPPRESSION DE LA FORMATION DE DEFAUTS D'EMPILEMENT DANS DES DISPOSITIFS AU SILICIUM
摘要
申请公布号 FR2317769(A1) 申请公布日期 1977.02.04
申请号 FR19760019151 申请日期 1976.06.23
申请人 WESTERN ELECTRIC CY INC 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/322;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/32;H01L21/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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