| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF SILICON PARTICLE AND PRODUCTION THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07232909(A) |
申请公布日期 |
1995.09.05 |
| 申请号 |
JP19940318184 |
申请日期 |
1994.12.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEM CO LTD |
发明人 |
TABUCHI HIROSHI;TAKAHASHI AKIHIKO |
| 分类号 |
B01J2/00;C01B33/021;C22C21/02;(IPC1-7):C01B33/021 |
主分类号 |
B01J2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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