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发明名称 FURNACE FOR SEMICONDUCTOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR950007251(Y1) 申请公布日期 1995.09.04
申请号 KR19920017102U 申请日期 1992.09.08
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD. 发明人 SONG, JONG - DONG;IM, SONG - BIN;CHONG, KI - JONG;KIM, HUN - SOP
分类号 H01L21/205;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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