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经营范围
发明名称
CARRIER RAISING-LOWERING DEVICE AND WAFER SUPPORT TOOL
摘要
申请公布号
JPH07228306(A)
申请公布日期
1995.08.29
申请号
JP19940042048
申请日期
1994.02.16
申请人
M C ELECTRON KK
发明人
SATO SHINICHIRO
分类号
B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B65G1/00
主分类号
B65G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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