发明名称 CARRIER RAISING-LOWERING DEVICE AND WAFER SUPPORT TOOL
摘要
申请公布号 JPH07228306(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940042048 申请日期 1994.02.16
申请人 M C ELECTRON KK 发明人 SATO SHINICHIRO
分类号 B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B65G1/00 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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