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发明名称 WAFER BURN-IN APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07231021(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940021741 申请日期 1994.02.21
申请人 AGING TESUTA KAIHATSU KYODO KUMIAI 发明人 OMI TADAHIRO;KOTANI KOJI;KATAYAMA MASAYASU;KAWACHI KIYOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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