| 发明名称 |
DEVICE FOR VAPORIZING AND FEEDING LIQUID MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07227536(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940044991 |
申请日期 |
1994.02.20 |
| 申请人 |
STEC KK |
发明人 |
MIYAMOTO HIDEAKI;ISHIKAWA KYOICHI;KONO TAKESHI |
| 分类号 |
C30B25/14;B01J4/00;B01J4/02;B01J7/02;H01L21/205;(IPC1-7):B01J4/02 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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