| 发明名称 |
CHROMIUM ETCHING SOLUTION COMPOSITION AND METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07228984(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
| 申请号 |
JP19940020119 |
申请日期 |
1994.02.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATABE TAKAYOSHI;INOUE TAKASHI |
| 分类号 |
C23F1/14;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/14 |
主分类号 |
C23F1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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