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发明名称
Fremgangsmåde og apparat til accelereret bestemmelse af ældning af et eller flere elementer med en elektromagnetisk ældningsparameter
摘要
申请公布号
DK0395149(T3)
申请公布日期
1995.08.28
申请号
DK19900200990T
申请日期
1990.04.19
申请人
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW;LIMBURGS UNIVERSITAIR CENTRUM
发明人
STALS, LAMBERT MATHIAS MARIA;ROGGEN, JEAN JOSEPH MARIE;DE SCHEPPER, LUC IRENA;DE CEUNINCK, WARD AIME STEFAN
分类号
G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H05B3/00;(IPC1-7):G01R31/26;G01R31/30
主分类号
G01R31/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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