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发明名称 DEVELOPER FOR PHOTORESIST
摘要
申请公布号 JPS5463828(A) 申请公布日期 1979.05.23
申请号 JP19770130443 申请日期 1977.10.31
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 HARADA TOKOU;HARITA YOSHIYUKI;HANAOKA HIDEYUKI
分类号 H01L21/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/302;H05K3/06 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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