| 摘要 |
<p>Zur Herstellung eines Stapels aus Substraten (1, 7', 7'', 7''', 7'''') wird ein dem Stapel (7) hinzuzufügendes Substrat auf einen Träger (4) aufgeklebt. Auf der dem Träger (4) abgewandten Seite (5) wird das Substrat (1) bearbeitet, insbesondere abgeschliffen. Das Substrat (1) wird erwärmt und unter Druck auf dem Stapel (7) befestigt. Es wird zum Aufkleben auf den Träger (4) ein Klebstoffgemisch verwendet, das beim Erwärmen aufschäumt (3'). Das Verfahren ist insbesondere bei der kubischen Integration einsetzbar.</p> |
