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发明名称 METHOD OF PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICES.
摘要
申请公布号 EP0426877(B1) 申请公布日期 1995.08.23
申请号 EP19900907474 申请日期 1990.05.29
申请人 JAPAN ENERGY CORPORATION 发明人 SHIMAKURA, HARUHITO NIPPON MINING CO., LTD;ODA, OSAMU NIPPON MINING CO., LTD;KAINOSHO, KEIJI NIPPON MINING CO., LTD
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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