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发明名称 Unstrained defect-free epitaxial mismatched heterostructures and method of fabrication.
摘要
申请公布号 EP0353423(B1) 申请公布日期 1995.08.23
申请号 EP19890110424 申请日期 1989.06.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHISHOLM, MATTHEW F.;KIRCHNER, PETER D.;WARREN, ALAN C.;WOODALL, JERRY M.
分类号 C30B25/02;C30B29/40;C30B29/68;H01L21/20;H01L21/203;H01L29/201;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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