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发明名称
METHOD OF POSITIONING AND ADJUSTING SIZE AND POSITION OF RECTANGULAR BEAM FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH07226361(A)
申请公布日期
1995.08.22
申请号
JP19940016192
申请日期
1994.02.10
申请人
JEOL LTD
发明人
TAKEMURA HITOSHI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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