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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07226180(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940014378 申请日期 1994.02.08
申请人 JEOL LTD 发明人 MIYOKAWA TOSHIAKI
分类号 H01J37/141;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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