发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTANCE SUBJECTED TO ELECTROCHEMICAL ETCHING
摘要
申请公布号 JPH07226392(A) 申请公布日期 1995.08.22
申请号 JP19940016698 申请日期 1994.02.10
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 SUGITO YASUNARI
分类号 H01L29/84;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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