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发明名称 MICROWAVE GAS PLASMA DISCHARGING METHOD, DEVICE, AND PLASMA DISCHARGE SECTION
摘要
申请公布号 JPH07220897(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940026058 申请日期 1994.01.27
申请人 MATORITSUKUSU:KK 发明人 TAKAMATSU TOSHIYUKI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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