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发明名称 HEAT TREATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH07221038(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940012484 申请日期 1994.02.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YANO TAKESHI
分类号 C04B41/87;F27B17/00;F27D11/02;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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