| 发明名称 |
LAMP ON/OFF MONITORING APPARATUS OF EXPOSING MACHINE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR950006647(Y1) |
申请公布日期 |
1995.08.16 |
| 申请号 |
KR19920014216U |
申请日期 |
1992.07.30 |
| 申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. |
发明人 |
KIM, BYONG - KYU |
| 分类号 |
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
