| 发明名称 |
Magnetron sputtering apparatus and mask |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2286201(A) |
申请公布日期 |
1995.08.09 |
| 申请号 |
GB19950000594 |
申请日期 |
1995.01.12 |
| 申请人 |
* SONY DISC TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
YOSHINORI * YOSHIMURA;MASAAKI * IWASAKI |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/35;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/04;G11B5/84;G11B5/855 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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