发明名称 METHOD OF PROVIDING BOTH A PLURALITY OF CAVITY AND OPENING OR EITHER ALONE ARRANGED IN PATTERN ON PLATE OR LAYER OF NONMETAL MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH07205027(A) 申请公布日期 1995.08.08
申请号 JP19940314990 申请日期 1994.12.19
申请人 PHILIPS ELECTRON NV 发明人 YAKOBUSU MARIA DEINHESU;REMUKO HORUNE;HERARUDASU NIKORAASU ANNE FUAN FUEEN;YOSEFU KORUNERISU MARII BOSUMAN
分类号 B24C1/04;B24C3/32;H01J9/02;H01J9/14;H01J9/227;H01J9/24;H01J11/02;H01J17/49;(IPC1-7):B24C1/04 主分类号 B24C1/04
代理机构 代理人
主权项
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