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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07207436(A)
申请公布日期
1995.08.08
申请号
JP19940005720
申请日期
1994.01.24
申请人
SEKISUI CHEM CO LTD
发明人
KITAMURA MAKOTO;TSUTAO TOMOSHIGE;UEHARA TAKESHI
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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