发明名称 METHOD OF FORMING ALUMINUM ALLOY WIRING
摘要
申请公布号 JPH07201821(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930337784 申请日期 1993.12.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKII AKIMASA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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