发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07201855(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930336434 申请日期 1993.12.28
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 IWASE AKIHIRO;ITO EISAKU;NAGAI SHINJI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址