发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07202044(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930348946 申请日期 1993.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 ENOMOTO SHUICHI
分类号 H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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