Verfahren zur Herstellung von hexamethylcyclotrisilazan.,申请号DE19916010734-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von hexamethylcyclotrisilazan.
摘要
申请公布号	DE69110734(D1)	申请公布日期	1995.08.03
申请号	DE19916010734	申请日期	1991.04.19
申请人	SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OHSAKI, HIROMI, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD, KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;TAKEDA, YOSHIHUMI SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;ISHIHARA, TOSHINOBU, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP;HAYASHIDA, AKIRA, SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., KUBIKI-MURA, NAKAKUBIKI-GUN, NIGATA 942, JP
分类号	B01J31/02;C07F7/10;C07F7/21;(IPC1-7):C07F7/21	主分类号	B01J31/02
代理机构		代理人
主权项
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