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经营范围
发明名称
Verbessertes Verfahren zur Hydrierung von Tetrachlorsilan
摘要
申请公布号
DE19502550(A1)
申请公布日期
1995.08.03
申请号
DE19951002550
申请日期
1995.01.27
申请人
HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORP., HEMLOCK, MICH., US
发明人
BURGIE, RICHARD ANTHONY, MIDLAND, MICH., US;HARDER, PATRICK JAMES, BAY CITY, MICH., US;SAWYER, DAVID HOLLOWAY, MIDLAND, MICH., US
分类号
B01J3/04;B01J12/00;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107
主分类号
B01J3/04
代理机构
代理人
主权项
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