发明名称 Verbessertes Verfahren zur Hydrierung von Tetrachlorsilan
摘要
申请公布号 DE19502550(A1) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19951002550 申请日期 1995.01.27
申请人 HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORP., HEMLOCK, MICH., US 发明人 BURGIE, RICHARD ANTHONY, MIDLAND, MICH., US;HARDER, PATRICK JAMES, BAY CITY, MICH., US;SAWYER, DAVID HOLLOWAY, MIDLAND, MICH., US
分类号 B01J3/04;B01J12/00;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 B01J3/04
代理机构 代理人
主权项
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