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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines perforierten Werkstückes.
摘要
申请公布号 DE59202728(D1) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19925002728 申请日期 1992.12.16
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 LEHMANN, VOLKER, DR., W-8000 MUENCHEN 21, DE;REISINGER, HANS, DR., W-8022 GRUENWALD, DE
分类号 C25F3/12;C30B29/06;C30B33/00;G02B5/20;H01L21/306;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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