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发明名称 TRANSPORTSYSTEM, INSBESONDERE ZUM TRANSPORTIEREN VON SILIZIUM EINKRISTALLEN DURCH DAS BECKEN EINES FORSCHUNGSREAKTORS.
摘要
申请公布号 DE59009357(D1) 申请公布日期 1995.08.03
申请号 DE19905009357 申请日期 1990.12.19
申请人 FISCHER, FLORIAN, 85560 EBERSBERG, DE 发明人 FISCHER, FLORIAN, 85560 EBERSBERG, DE
分类号 C30B31/10;C30B31/20;C30B35/00;G21C1/30;H01L21/00;(IPC1-7):C30B31/10 主分类号 C30B31/10
代理机构 代理人
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