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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07193043(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19920288607 申请日期 1992.10.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOMURO GENICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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