发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07193082(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930330817 申请日期 1993.12.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SATO ISAO
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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