发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07192668(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930331012 申请日期 1993.12.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 UEKI YASUMITSU
分类号 H01J37/22;H01J37/04;H01J37/256;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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