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发明名称
ALIGNMENT MARK
摘要
申请公布号
JPH07192991(A)
申请公布日期
1995.07.28
申请号
JP19930348368
申请日期
1993.12.27
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
YABE KAZUO;HARAGUCHI HIROSHI
分类号
G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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