发明名称 |
REACTOR CORE TUBE FOR VAPOR GROWTH |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07193012(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
申请号 |
JP19930346865 |
申请日期 |
1993.12.27 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
YAMAMURA SHIGERU;HONMA HIROYUKI |
分类号 |
C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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