发明名称 REACTOR CORE TUBE FOR VAPOR GROWTH
摘要
申请公布号 JPH07193012(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930346865 申请日期 1993.12.27
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 YAMAMURA SHIGERU;HONMA HIROYUKI
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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