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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07192671(A) 申请公布日期 1995.07.28
申请号 JP19930331013 申请日期 1993.12.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD 发明人 KOBAYASHI YUMI;YAMADA MITSUHIKO
分类号 H01J37/09;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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