| 主权项 |
1.一种用以在卓氏矽晶粒晶机控制氧含量之装置, 矽在其 中熔化于一坩埚内,该装置包含:一感受器;一在该 感受 器内之石英坩埚;一钢缆,用以使一晶种降入熔于 感受器 内之矽;以及一组合加热器/磁线圈,用以将感受器 内之 矽加热及熔化,及用以在感受器周围产生磁场。2. 根据申请专利范围第1项之装置,其中上述加热器/ 磁 线圈具有圆形剖面,并且上述感受器位于线圈中央 。3.根据申请专利范围第1项之装置,其中上述加热 器/磁 线圈为石墨材料,其切成螺旋形,以形成线圈置于 感受器 周围。4.根据申请专利范围第1项之装置,包括一单 一电源,用 以供电至加热器,并产生磁场。5.一种用以在卓氏 矽晶拉晶机控制氧含量之装置,矽在其 中熔化于一石英坩埚内,该装置包含:一感受器;一 在该 感受器内之石英坩埚;一钢缆,用以使一晶种降入 熔于感 受器内之矽;以及一组合加热器/磁线圈包围该感 受器, 用以将感受器内之矽加热及熔化,及用以在感受体 周围产 生磁场。6.根据申请专利范围第5项之装置,其中上 述加热器/磁 线圈为石墨材料,其切成螺旋形,以形成线圈置于 感受器 周围。7.根据申请专利范围第5项之装置,包括一单 一电源,用 以供电至加热器,并产生磁场。8.一种用以在卓氏 矽晶拉晶机控制由一感受器内之石英坩 埚所拉成之矽晶中氧含量之方法,将感受器包封在 一组合 加热器/磁线圈内;供电至加热器/磁线圈;以及使线 圈 中之电流保持使矽适当熔化之量,并在晶体增长过 程中在 熔融周围提供希望之磁场。9.根据申请专利范围 第8项之方法,其中上述加热器/磁 线圈系由一种材料形成,其形成螺旋形,以形成线 圈置于 |
