发明名称 MANUFACTURE OF INSULATED GATE FIELD EFFECT SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07183523(A) 申请公布日期 1995.07.21
申请号 JP19940314314 申请日期 1994.11.25
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/26;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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