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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DÜNNEN SUPRALEITENDEN SCHICHT.
摘要
申请公布号 DE69110450(D1) 申请公布日期 1995.07.20
申请号 DE1991610450 申请日期 1991.10.17
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TANAKA, ATSUSHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;KAMEHARA, NOBUO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;NIWA, KOICHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 C04B35/00;C01G1/00;C01G29/00;C04B35/45;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;H01L39/24;(IPC1-7):C01G29/00;C04B35/64 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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