| 发明名称 |
SELF MASK TYPE FIB MILLING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07176287(A) |
申请公布日期 |
1995.07.14 |
| 申请号 |
JP19940146569 |
申请日期 |
1994.06.28 |
| 申请人 |
SHIYURUNBERUJIE TECHNOL INC |
发明人 |
KURISUTOFUAA GURAHAMU TARUBOTSUTO;DAGURASU MASUNAGETSUTEI;HONGIYU SHIIMEN |
| 分类号 |
B23K15/02;C23C14/04;C23C14/22;G01Q30/02;H01J37/147;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
B23K15/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
